Fuentes de electrones termoiónicas
Las fuentes de electrones termoiónicos calientan un cátodo en el vacío para que los electrones superen la función de trabajo del material y entren en un cañón de electrones. Seleccione la fuente como un subsistema de equipo completo: material del emisor, orientación del cristal, punta, calentador, montaje, vacío, polarización, óptica electrónica, control, intervalo de servicio y rendimiento del haz entregado, todo es importante.
Mecanismo
El calentamiento aumenta la distribución de energía de los electrones hasta que una fracción utilizable puede escapar de la superficie del cátodo. El hexaboruro de lantano (LaB 6) combina una función de trabajo comparativamente baja con una estabilidad refractaria a altas temperaturas, pero la emisión útil aún depende del cristal exacto, la orientación, la geometría de emisión, la temperatura de funcionamiento, el vacío, el estado de contaminación, los electrodos de la pistola y la alineación.
Source Route Selection
| Requisito | First route | LÍMITE DE CALIFICACIÓN |
|---|---|---|
| Fuente termoiónica comercial con mayor brillo y vida útil que el tungsteno convencional | Laboratorio6 | Verifique el instrumento, el montaje, la punta, la orientación, el calentador, el vacío, la emisión, la estabilidad, la resolución y la vida útil. |
| Costo de origen más bajo y reemplazo de rutina simple | Tungsten filament | Acepte sus límites de brillo, vida útil, tamaño de fuente y mantenimiento. |
| Ruta termoiónica alternativa del hexaboruro | CeB6 | Compare conjuntos exactos bajo las mismas condiciones de pistola, vacío, corriente, contaminación, vida útil y costo. |
| El brillo más alto o el tamaño de fuente, la distribución de energía y el objetivo de resolución más exigentes | Emisión Schottky o de campo frío | Seleccione una arquitectura de aspiración y pistola de emisión de campo completamente compatible. |
Commercial Application Subtypes
- Cañones de electrones SEM y TEM de rutina.
- EPMA, AES y otros instrumentos de análisis de superficies.
- Equipos de exposición y litografía por haz de electrones.
- Equipos de procesamiento de rayos X y haces de electrones con microfoco.
- Equipo de aditivos metálicos por haz de electrones calificado por OEM.
Datos de validación típicos solicitados
- Datos de identidad, trazabilidad, orientación, dimensiones, geometría de la punta, montaje y calentador del cátodo.
- Compatibilidad de instrumentos y pistolas, vacío, polarización, voltaje, alineación, calentamiento y límites operativos.
- Emisión y corriente del haz entregado, brillo o evidencia de fuente equivalente, deriva, resolución y ciclo de trabajo.
- Vida útil y condiciones posteriores al funcionamiento según los criterios establecidos de temperatura, vacío, demanda actual, mantenimiento y fin de vida útil.
Related Material
Análisis técnico relacionado
Selección y calificación de cátodos termoiónicos LaB6